AMD und Infineon schieben Deutschlands Nano-Valley an

Die Halbleiterindustrie steht vor dem Sprung von der Mikro- zur Nanoelektronik. Ort des Geschehens ist nicht zuletzt Deutschland, genauer: Sachsen. Noch genauer: Dresden. Denn dort hat sich neben AMD und Infineon nun auch das Fraunhofer-Center Nanoelektronische Technologien CNT angesiedelt. Dieses wurde gestern mit Gästen von Bund, dem Freistaat Sachsen, der Wissenschaft und Wirtschaft feierlich eröffnet.

Das CNT ist Teil der europäischen Initiative ENIAC (European Nanoelectronic Initiative Advisory Council) zur Stärkung der Nanoelektronik. „Wie IMEC in Belgien und LETI in Frankreich wird das CNT direkt mit der Industrie zusammenarbeiten“, berichtete Dr. Alfred Gossner, Vorstand der Fraunhofer-Gesellschaft. Man gebe damit eine europäische Antwort auf Initiativen wie Sematech in USA und Selete in Japan. „Mit dem CNT wird Dresden zu einem wichtigen Forschungsstandort für Nanoelektronik in Europa.“

Die Halbleiterhersteller stehen derzeit vor der Herausforderung, die Strukturen bis unter 50 Nanometer weiter zu verkleinern und diese Innovationen schnell in die Fertigung zu implementieren. Dresden bietet in Deutschland mit der laufenden 300-mm-DRAM-Fertigung der Infineon AG und den beiden Mikroprozessor-Werken von AMD ausgezeichnete Standortbedingungen für eine Forschungsplattform für Nanoelektronik. „Das CNT wird die effiziente Entwicklung neuer Technologiegenerationen vorantreiben“, zeigte sich Dr. William Siegle von AMD überzeugt.

Schwerpunktthemen sind die Bearbeitung ausgewählter Prozessschritte für die Fertigung von high-density-Speicherbausteinen sowie high-performance-Transistoren. Die Fraunhofer-Gesellschaft wird vor allem die Kompetenz ihrer Institute in den Bereichen Material- und
Schichtsysteme, Basisprozesse, Aufbau- und Verbindungstechnologien, Entwurfstechniken und Lithografie einbringen. Nahezu 100 Entwicklungs- und Fertigungsingenieure der Industriepartner sowie wissenschaftliche Mitarbeiter der Fraunhofer-Gesellschaft werden im CNT Lösungen für die Nanoelektronik erarbeiten.

Die Vertragsvereinbarung für das CNT sieht zunächst eine Laufzeit von fünf Jahren vor, an deren Ende eine gemeinsame Evaluation stehen soll. Fraunhofer-Gesellschaft und Industriepartner streben aber eine dauerhaft betriebene Forschungsplattform an. Entscheidend für die Fortsetzung werden Erfolg und Marktentwicklungen auf der einen und die Entwicklung der Förderlandschaft auf der anderen Seite sein.